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发明名称 COOLING WATER SUPPLYING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0536663(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910208715 申请日期 1991.07.26
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRON KYUSHU KK 发明人 YAMAHIRA YUTAKA
分类号 F25D17/02;G05D23/00;H01L21/304 主分类号 F25D17/02
代理机构 代理人
主权项
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