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经营范围
发明名称
DEPOSITION FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0536607(A)
申请公布日期
1993.02.12
申请号
JP19910189992
申请日期
1991.07.30
申请人
CANON INC
发明人
OTOSHI HIROKAZU;TAKAI YASUYOSHI;OKAMURA TATSUJI;TAKEI TETSUYA
分类号
H01L21/205;H01L21/285
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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