发明名称 DEPOSITION FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0536607(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910189992 申请日期 1991.07.30
申请人 CANON INC 发明人 OTOSHI HIROKAZU;TAKAI YASUYOSHI;OKAMURA TATSUJI;TAKEI TETSUYA
分类号 H01L21/205;H01L21/285 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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