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发明名称 METHOD FOR FORMING PATTERN OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0536654(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910212856 申请日期 1991.07.30
申请人 NEC CORP 发明人 SUGIMOTO YOSHIMASA
分类号 H01L21/20;H01L21/268;H01L21/302 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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