发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0536895(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910192999 申请日期 1991.08.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KITAHARA KUNINORI
分类号 H01L21/205;H01L27/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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