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发明名称 CARBON MATERIAL CONTAINING A HALOGEN AND DEPOSITION METHOD FOR SAME
摘要
申请公布号 KR930001013(B1) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 KR19880010194 申请日期 1988.08.10
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 发明人 YAMAZAKI, SHUNPEI;HAYASHI, SHIGENORI
分类号 C23C16/26;(IPC1-7):C23C16/26 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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