发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0536682(A) 申请公布日期 1993.02.12
申请号 JP19910187924 申请日期 1991.07.26
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 OSHIMA MISUZU
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址