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发明名称 MESSVERFAHREN FUER HALBLEITERANORDNUNG.
摘要
申请公布号 DE3874469(T2) 申请公布日期 1993.02.11
申请号 DE19883874469T 申请日期 1988.09.29
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 BABA, YOSHIRO C/O PATENT DIVISION;KOSHINO, YUTAKA C/O PATENT DIVISION;YASUDA, SEJI C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP
分类号 G01R19/00;G01R31/26;G01R31/265;G01R31/311;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R19/00
代理机构 代理人
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