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发明名称 DETEKTORSYSTEM
摘要
申请公布号 DE4125928(A1) 申请公布日期 1993.02.11
申请号 DE19914125928 申请日期 1991.08.05
申请人 SIEMENS AG, 8000 MUENCHEN, DE 发明人 BIRKLE, SIEGFRIED, DIPL.-CHEM. DR., 8552 HOECHSTADT, DE;KAMMERMAIER, JOHANN, DIPL.-PHYS. DR., 8025 UNTERHACHING, DE;RITTMAYER, GERHARD, DIPL.-PHYS. DR., 8520 ERLANGEN, DE
分类号 G01T1/24;H01L31/0224;H01L31/115 主分类号 G01T1/24
代理机构 代理人
主权项
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