| 发明名称 |
DIAMOND-ON-A-SUBSTRATE FOR ELECTRONIC APPLICATIONS. |
| 摘要 |
<p>Produit de substrat recouvert comprenant un substrat ainsi qu'une couche de diamant polycristalline présentant un fini de surface lisse, une orientation de cristaux améliorés en comparaison avec une poudre de diamant de qualité industrielle notamment dans les sens (220) et (400), ainsi que d'excellentes propriétés électriques et thermiques. L'invention concerne également un procédé de fabrication dudit substrat recouvert dans lequel la couche de diamant polycristalline est déposée en phase gazeuse par procédé chimique sur le substrat à des températures de substrat situées dans la plage comprise entre 650 et 825 °C.</p> |
| 申请公布号 |
EP0526468(A1) |
申请公布日期 |
1993.02.10 |
| 申请号 |
EP19910906651 |
申请日期 |
1991.03.18 |
| 申请人 |
DIAMONEX, INCORPORATED |
发明人 |
GARG, DIWAKAR;TSAI, WILMAN;DYER, PAUL, NIGEL;KIMOCK, FRED, M.;IAMPIETRO, ROBERT, L. |
| 分类号 |
B32B9/00;B32B15/04;C04B41/85;C23C16/26;C23C16/27;C30B25/10;H01L21/205;H01L23/14 |
主分类号 |
B32B9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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