发明名称 METHOD OF PREPARING SUPERCONDUCTING FILM
摘要
申请公布号 EP0511391(A4) 申请公布日期 1993.02.10
申请号 EP19910917829 申请日期 1991.10.17
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 TANAKA, ATSUSHI;YAMANAKA, KAZUNORI;KAMEHARA, NOBUO;NIWA, KOICHI
分类号 H01L39/24;(IPC1-7):H01L21/60;H01B13/00;H01B13/14;C01G29/00;C01G3/00 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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