CONTACT PROBES.

摘要

Une sonde à déclenchement par contact comprend un circuit intégré hybride. Des éléments de support cinématiques (28) servant à soutenir un palpeur (14) qui peut être défléchi en une position de repos précise, ainsi que des éléments détecteurs (40) servant à détecter un contact entre le palpeur (14) et une pièce sont placés sur ce circuit. On décrit en outre des modes de réalisation dans lesquels les éléments de support cinématiques sont placés sur une puce de silicium, par exemple par micro-usinage.