| 发明名称 |
POSITIVE-WORKING PHOTORESISTS EMPLOYING A SELECTED MIXTURE OF ETHYL LACTATE AND ETHYL 3-ETHOXY PROPIONATE AS CASTING SOLVENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0442952(B1) |
申请公布日期 |
1993.02.10 |
| 申请号 |
EP19890912988 |
申请日期 |
1989.11.08 |
| 申请人 |
OCG MICROELECTRONIC MATERIALS, INC. |
发明人 |
SALAMY, THOMAS, E. |
| 分类号 |
G03F7/023;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/039;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/023 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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