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发明名称 NON-STOICHIOMETRIC TITANIUM NITRIDE COATING
摘要
申请公布号 US5185211(A) 申请公布日期 1993.02.09
申请号 US19910728339 申请日期 1991.07.11
申请人 PRAXAIR S.T. TECHNOLOGY, INC. 发明人 SUE, JIINJEN A.;TROUE, HARDEN H.
分类号 C23C14/06;C23C14/32;C23C30/00 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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