| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND PRODUCTION DEVICE USED THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0532487(A) |
申请公布日期 |
1993.02.09 |
| 申请号 |
JP19910050970 |
申请日期 |
1991.03.15 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
FUJITA KAZUHISA;ASAI KOSUKE;ISHIHARA HIROSHI;NISHIMURA TAKAYUKI;KATAHAMA HISASHI |
| 分类号 |
C30B25/16;C30B25/18;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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