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发明名称
FORMATION OF SURFACE MODIFIED LAYER
摘要
申请公布号
JPH0533130(A)
申请公布日期
1993.02.09
申请号
JP19910214475
申请日期
1991.07.30
申请人
KOBE STEEL LTD
发明人
SATO HIROSHI;NISHIMOTO HIDETOSHI;SUGIZAKI YASUAKI;YASUNAGA TATSUYA
分类号
C23C14/48;H01J37/317
主分类号
C23C14/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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