发明名称 FORMATION OF SURFACE MODIFIED LAYER
摘要
申请公布号 JPH0533130(A) 申请公布日期 1993.02.09
申请号 JP19910214475 申请日期 1991.07.30
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 SATO HIROSHI;NISHIMOTO HIDETOSHI;SUGIZAKI YASUAKI;YASUNAGA TATSUYA
分类号 C23C14/48;H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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