| 发明名称 |
PREVENTION OF ATTACHMENT OF ACTIVE SUBSTANCE TO INNER WALL FACE OF REACTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0532484(A) |
申请公布日期 |
1993.02.09 |
| 申请号 |
JP19910211602 |
申请日期 |
1991.07.29 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
NARUSE FUMIO;HAYASHI CHIKARA |
| 分类号 |
C30B25/14;C23C14/00;C23C16/44 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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