| 发明名称 |
FILM FORMATION OF SUPERCONDUCTING THIN FILM OF COMPOUND OXIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0532491(A) |
申请公布日期 |
1993.02.09 |
| 申请号 |
JP19910211502 |
申请日期 |
1991.07.29 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
NAGAISHI RYUKI;NAKANISHI SHUSUKE;TANAKA SABURO;ITOZAKI HIDEO |
| 分类号 |
C23C14/28;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C23C14/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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