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发明名称 HORIZONTAL REACTOR
摘要
申请公布号 JPH0529304(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910202372 申请日期 1991.07.17
申请人 SONY CORP 发明人 ARAKI SHINICHI
分类号 H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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