发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0529245(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910178601 申请日期 1991.07.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IMAMURA KENICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L29/205 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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