发明名称 DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING CIRCUIT PATTERN
摘要
申请公布号 JPH0526943(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910181472 申请日期 1991.07.23
申请人 NEC CORP 发明人 SUZUKI TAKAHIRO
分类号 G01R27/02;G01R27/26;G01R31/02 主分类号 G01R27/02
代理机构 代理人
主权项
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