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发明名称
METHOD AND INSTRUMENT FOR MEASURING BEAM SPOT EMITTING DISTRIBUTION
摘要
申请公布号
JPH0530545(A)
申请公布日期
1993.02.05
申请号
JP19910206219
申请日期
1991.07.24
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
NOBEMOTO KAZUO
分类号
H01J9/42;H04N17/04
主分类号
H01J9/42
代理机构
代理人
主权项
地址
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