| 发明名称 |
STORING AND TRANSFERRING METHOD FOR SUBSTRATE AFTER CLEANING TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0529432(A) |
申请公布日期 |
1993.02.05 |
| 申请号 |
JP19910204731 |
申请日期 |
1991.07.19 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
IZUMI AKIRA;MATSUKA TAKESHI |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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