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发明名称 TERMINATING POINT DETECTION METHOD OF REACTIVE ION ETCHING
摘要
申请公布号 JPH0529277(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910186015 申请日期 1991.07.25
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 KIMURA MITSUHIKO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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