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发明名称 DEPOSITED FILM FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0529227(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910201092 申请日期 1991.07.17
申请人 CANON INC 发明人 YAMADA KATSUHIKO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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