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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0529449(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910181409 申请日期 1991.07.23
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KO TATSUICHI;KIMURA KOJI
分类号 H01L21/266;H01L21/331;H01L21/74;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
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