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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0529325(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910205393 申请日期 1991.07.22
申请人 MITSUBISHI MATERIALS CORP;MITSUBISHI MATERIALS SHILICON CORP 发明人 MIYAIRI HIROO
分类号 H01L21/322;H01L21/304 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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