| 发明名称 |
ION IMPLANTATION METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0529242(A) |
申请公布日期 |
1993.02.05 |
| 申请号 |
JP19910179669 |
申请日期 |
1991.07.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TOKIKUCHI KATSUMI;AMAMIYA KENSUKE;HAKAMATA YOSHIMI;SAKUMICHI KUNIYUKI |
| 分类号 |
H01J37/317;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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