发明名称 CRYSTAL GROWTH METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0529219(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910178200 申请日期 1991.07.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 BABA YASUO
分类号 C23C14/50;C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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