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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0529224(A) 申请公布日期 1993.02.05
申请号 JP19910076571 申请日期 1991.04.09
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 OKUDA SHOJI;TOKI MASAHIKO
分类号 H01L21/205;H01L21/316 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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