发明名称 NEGATIV ARBEITENDES STRAHLUNGSEMPFINDLICHES GEMISCH UND DAMIT HERGESTELLTES STRAHLUNGSEMPFINDLICHES AUFZEICHNUNGSMATERIAL
摘要
申请公布号 DE4125042(A1) 申请公布日期 1993.02.04
申请号 DE19914125042 申请日期 1991.07.29
申请人 HOECHST AG, 6230 FRANKFURT, DE 发明人 PAWLOWSKI, GEORG, DR., 6200 WIESBADEN, DE;DAMMEL, RALPH, DR., COVENTRY, RHODE ISLAND, US;ROESCHERT, HORST, DR., 6531 OBER-HILBERSHEIM, DE;MEIER, WINFRIED, DIPL.-ING., 6230 FRANKFURT, DE;SPIESS, WALTER, DR., 6110 DIEBURG, DE;PRZYBILLA, KLAUS-JUERGEN, DR., 6000 FRANKFURT, DE
分类号 G03F7/00;C04B41/50;G03F7/029;G03F7/038;H01L21/027 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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