发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OHMISCHEN KONTAKTES AUF EINEM III-V HALBLEITER UND HERGESTELLTES HALBLEITERZWISCHENPRODUKT.
摘要
申请公布号 DE3685842(T2) 申请公布日期 1993.02.04
申请号 DE19863685842T 申请日期 1986.04.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 JACKSON, THOMAS NELSON, PEEKSKILL NEW YORK 10566, US;KIRCHNER, PETER DANIEL, GARRISON NEW YORK 10524, US;PETTIT, GEORGE DAVID, MAHOPAC, NEW YORK 10541, US;RUTZ, RICHARD FREDERICK, COLD SPRING NEW YORK 10516, US;WOODALL, JERRY MACPHERSON, BEDFORD HILLS NEW YORK 10507, US
分类号 H01L21/338;H01L21/28;H01L21/285;H01L29/41;H01L29/43;H01L29/45;H01L29/80;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/338
代理机构 代理人
主权项
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