发明名称
摘要 <p>A control valve assembly for controlling the flow of abrasive slurry from a supply pump, directing a selected amount of abrasive slurry to the lapping wheel of an associated lapping machine, and recirculating the remainder of the supply of abrasive slurry to the supply pump.</p>
申请公布号 JPH059230(B2) 申请公布日期 1993.02.04
申请号 JP19810132024 申请日期 1981.08.21
申请人 SPEEDFAM CORP 发明人 JOSEFU BITO SESUNA
分类号 F16K11/08;B24B57/00;F16K11/085 主分类号 F16K11/08
代理机构 代理人
主权项
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