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发明名称 MAGNETRON-ZERSTAEUBUNGSKATHODE FUER VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGEN
摘要
申请公布号 DE4125110(A1) 申请公布日期 1993.02.04
申请号 DE19914125110 申请日期 1991.07.30
申请人 LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE 发明人 MAASS, WOLFRAM, DR., 6455 ERLENSEE, DE
分类号 C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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