发明名称 CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0523651(A) 申请公布日期 1993.02.02
申请号 JP19910182266 申请日期 1991.07.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 SATO TOMOHIRO;HONMA YOSHIFUMI;TAKIZAWA YOSHIHARU
分类号 B08B11/04;B65H5/06;H01L21/304 主分类号 B08B11/04
代理机构 代理人
主权项
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