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经营范围
发明名称
MOLECULAR BEAM CRYSTAL GROWING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0524974(A)
申请公布日期
1993.02.02
申请号
JP19910274155
申请日期
1991.10.22
申请人
NEC CORP
发明人
FUJISAKI HIROSHI
分类号
C23C14/24;C30B23/08;H01L21/203
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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