发明名称 MOLECULAR BEAM CRYSTAL GROWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0524974(A) 申请公布日期 1993.02.02
申请号 JP19910274155 申请日期 1991.10.22
申请人 NEC CORP 发明人 FUJISAKI HIROSHI
分类号 C23C14/24;C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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