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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DIAMOND THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0524983(A) 申请公布日期 1993.02.02
申请号 JP19910186077 申请日期 1991.07.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KITAHATA MAKOTO
分类号 C30B29/04 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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