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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0524965(A) 申请公布日期 1993.02.02
申请号 JP19910178352 申请日期 1991.07.18
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 SHIBATA MASATOMO;INADA TOMOKI
分类号 C30B11/00;H01L21/208 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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