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经营范围
发明名称
WAFER PROCESSING FILMS
摘要
申请公布号
US5183699(A)
申请公布日期
1993.02.02
申请号
US19910667402
申请日期
1991.04.01
申请人
MITSUI TOATSU CHEMICALS, INC.
发明人
TAKEMURA, YASUO;NARIMATSU, OSAMU;KOMATSU, KAZUYOSHI
分类号
C09J7/02;C09K8/04;H01L21/304;H01L21/306
主分类号
C09J7/02
代理机构
代理人
主权项
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