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发明名称 MOLECULAR BEAM CRYSTAL GROWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0524973(A) 申请公布日期 1993.02.02
申请号 JP19910176631 申请日期 1991.07.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UCHIYAMA KIYOSHI;IDOTA TAKESHI;TAKAMORI AKIRA;NAKAJIMA MASATO
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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