发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 US5183781(A) 申请公布日期 1993.02.02
申请号 US19910638757 申请日期 1991.01.08
申请人 NEC CORPORATION 发明人 NAKANO, EIICHI
分类号 H01L21/3213;H01L21/768 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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