发明名称 MANUFACTURE OF DIELECTRIC ISOLATION SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0521590(A) 申请公布日期 1993.01.29
申请号 JP19910173681 申请日期 1991.07.15
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 YAMAGUCHI SHUICHIRO;IITAKA YUKIO;MIYAJIMA HISAKAZU
分类号 H01L21/02;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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