发明名称 ANALYSIS DEVICE FOR CHARGED PARTICLE RAY
摘要
申请公布号 JPH0521032(A) 申请公布日期 1993.01.29
申请号 JP19910194862 申请日期 1991.07.09
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 UENO YOSHIHIRO
分类号 H01J37/12;H01J37/153;H01J37/252 主分类号 H01J37/12
代理机构 代理人
主权项
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