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发明名称 FORMATION OF ELECTRODE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0521379(A) 申请公布日期 1993.01.29
申请号 JP19910170787 申请日期 1991.07.11
申请人 NEC CORP 发明人 NAGAI KEIJI
分类号 C25D3/48;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C25D3/48
代理机构 代理人
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