发明名称 SELECTIVE EPITAXIALLY GROWING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0521356(A) 申请公布日期 1993.01.29
申请号 JP19910168538 申请日期 1991.07.10
申请人 NEC CORP 发明人 KURODA NAOTAKA
分类号 C30B23/04;C30B25/04;C30B29/40;H01L21/203;H01L21/205 主分类号 C30B23/04
代理机构 代理人
主权项
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