发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0521452(A) 申请公布日期 1993.01.29
申请号 JP19910198875 申请日期 1991.07.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TANIGUCHI AKIHISA
分类号 H01L29/41;H01L21/331;H01L29/417;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
主权项
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