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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0521424(A)
申请公布日期
1993.01.29
申请号
JP19910173635
申请日期
1991.07.15
申请人
HITACHI LTD
发明人
OTSUKA FUMIO;SAGAWA MASAKAZU
分类号
H01L21/76;H01L21/316
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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