| 发明名称 |
PRETREATMENT METHOD FOR OXIDE SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0521409(A) |
申请公布日期 |
1993.01.29 |
| 申请号 |
JP19910174869 |
申请日期 |
1991.07.16 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
NOSHIRO HIDEYUKI;OTANI NARIMOTO |
| 分类号 |
F26B3/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L39/12 |
主分类号 |
F26B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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