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发明名称 METAL INTERCONNECTION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0521427(A) 申请公布日期 1993.01.29
申请号 JP19910170805 申请日期 1991.07.11
申请人 NEC CORP 发明人 TONISHI SHIGEJI
分类号 H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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