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发明名称
RESIST COATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0521329(A)
申请公布日期
1993.01.29
申请号
JP19910201229
申请日期
1991.07.15
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
ITO YOSHIO
分类号
B05C11/08;B08B3/08;G03F7/16;H01L21/027
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
主权项
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