| 摘要 |
<P>La structure d'étalonnage (34) comporte une structure d'alignement (36A) de décalage de valeur nulle et plusieurs structures d'alignement (36B-I) de décalage de valeur non nulle. En mesurant le déplacement de la structure d'alignement de décalage de valeur nulle à 0degré , 90), 180degré et 270degré , on détermine la dérive provoquée par l'instrument de mesure ainsi que la présence éventuelle d'astigmatisme. En en tenant compte dans une mesure des déplacements de toutes les structures d'alignement, de décalage de valeur nulle et non nulle, à 0degré , on détermine les erreurs systématiques de la mesure.</P>
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